MX63和MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设计，可在各种应用中实现最佳观察条件。结合奥林巴斯Stream图像分析软件使用时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。

1、选配晶圆自动搬送机 — AL120系统*

选配的晶圆自动搬送机可安装在MX63系列上，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅及复合半导体晶圆从晶圆匣运送到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性能够安全、高效地对晶圆正面和背面进行宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。

2、快速、清洁的检测

MX63系列可实现无污染的晶片检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内，显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，缩短检测间隔时间的同时让操作人员的手始终保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。

3、系统设计实现高效观察

利用内置离合和XY旋钮，能够实现对载物台运动的粗调和微调。即便针对诸如300毫米晶片这样的大尺寸样品，载物台也可帮助实现高效的观察。倾斜观察镜筒的扩展范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。

4、适合所有晶圆尺寸

该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆托架和玻璃台板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化，可更改载物台或镜架。有了MX63系列，各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。